
X線光学製品 / LIGAプロセスの応用例
LIGAプロセスは,ドイツのカールスルーエ技術研究所/工科大学(KIT)にて発明された,高アスペクト比を持つ微細構造製造のための複合プロセスです。 このページでは,LIGAプロセスを用いたX線光学分野における応用例を紹介します。
LIGAプロセスの仕組みと微細加工製品例はこちらで紹介しています。
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X線レンズ (Compound refractive lens, CRL) |
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KITの放射光施設KARA |
LIGAプロセス X線光学分野のアプリケーション例
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MURA (Modified uniformly redundant array) 構造例1 |
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MURA (X線符号化開口用マスク) 構造例2 |
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X線回折格子 (X-ray gratings for Talbot interferometry) |
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X線レンズ (Compound refractive lens, CRL) |
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微細貫通孔: X線アパーチャ,基板無し |
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微細貫通孔: X線アパーチャ,基板無し |
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X線分解能ターゲット (High contrast resolution targets for X-ray imaging |
FAQ よくある質問
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