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カールスルーエ技術研究所

新情報
■ 2021年4月 LIGAプロセス 高コントラストのX線分解能ターゲットの商品化
■ 2021年3月 X線回折格子(タルボ干渉計) Publications (ユーザによる発表事例)を追加。心臓大血管の構造研究への応用例。
■ 2020年7月 X線レンズ Publications (ユーザによる発表事例)を追加

展示会情報
[出展] 2021年1月8-10日: 日本放射光学会年会,オンライン開催
[出展] 2020年1月10-12日: 日本放射光学会年会,ウインクあいち(愛知県産業労働センター)
[出展] 2019年10月20-24日:XNPIG,International Conference on X-ray and Neutron Phase Imaging with Gratings,
仙台国際センター

1. カールスルーエ技術研究所/カールスルーエ工科大学(KIT)とは


カールスルーエ技術研究所(KIT,カールスルーエ工科大学)は,2009年10月にカールスルーエ研究センター(FZK)とカールスルーエ大学(Uni-KA)が合併してできた欧州最大規模の研究所で,約150の研究所,8,000人の研究員,20,000人近い学生から構成されています。フランスとの国境に近い南ドイツのBaden-Würtemberg州に立地しています。

2. IMT (マイクロストラクチャ技術研究所)について


IMTはカールスルーエ技術研究所(KIT)のうちの一つの研究所であり,「高アスペクト比の微細構造とマイクロシステムをポリマーと金属から作成する」ことをミッションとしています。

特に,シンクロトロン放射光施設KARA (旧ANKA)を用いた,ディープX線リソグラフィによるレジスト樹脂の微細構造化,高アスペクト比の電鋳,並びに高アスペクト比の樹脂の複製技術は,「LIGAプロセス」として世界的に知られています。KIT/IMTは,LIGAプロセスを発明し現在も開発を継続しています。
KIT/IMTのスピンオフであるmicroworks GmbHは回折格子やマイクロギア,微細貫通孔(X線アパーチャ)といった製品を,研究機関や民間企業に販売しています。 株式会社ASICONは,KIT/IMTとmicroworks GmbHの日本代理店です。

3. 提供するサービス


カールスルーエ技術研究所・IMTでは,試作品の制作から量産までのサービスを提供する設備と体制を整えております。

電子ビーム(マスク描画装置)

電子ビーム

加速電圧: 100 kV

高分解能: > 1 nm

レジスト厚: 〜4 µm

最小構造幅: > 20 nm


放射光施設KARA (旧ANKA)

放射光施設 ANKA

LIGA I,II,III・・・X線リソグラフィ用途

PDIFF・・・XRPD用途

TOPO・・・放射光白色X線トポグラフィ

他,計15のビームラインが稼働中


X線リソグラフィスキャナ

X線リソグラフィスキャナ

光子エネルギー: 2 keV〜20 keV

構造高: 1 µm〜2,000 µm

アスペクト比: 〜100


ホットエンボス装置

ホットエンボス装置

構造高: 1 µm〜2,000 µm

基板サイズ: 〜8インチ

アスペクト比: 〜20

提供サービス(当サイト内リンク)

X線レンズ

X線タルボ干渉計用の回折格子

LIGA 微細加工技術

4. 国内実績


カールスルーエ技術研究所(KIT)・IMTとスピンオフ企業のmicroworks GmbHが開発した製品や技術は,日本国内で弊社株式会社ASICONを通して提供いたしております。
弊社は,X線レンズやX線回折格子の販売,共同開発プロジェクト,共著論文の執筆,カールスルーエ技術研究所の研究者によるセミナーや,日本のユーザによるドイツにおける講演等をバックアップしております。


seminars

X線光学製品と微細加工技術LIGA
X-ray optics and micro fabrication (LIGA)

マイクロ流体デバイス
Microfluidic devices