LIGAプロセス図式解説
（1）X線リソグラフィによるPMMAレジストの形状付け（左），樹脂性ダイレクトLIGA完成品（右）
（2）電鋳（Au，Ni，Ni-Fe，Cu等）による金属構造の形成
（3）電鋳構造を製品として使用（ダイレクトLIGA），または↓
（4）上記（3）を金型として利用し，ポリマー等にエンボス加工にて複製する。
LIGA形状・材質の例（各々デザインによる）
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最大高さ |
3mm |
アスペクト比（単体） |
50 |
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最小方位分解能 |
0.2µm |
アスペクト比（構造体） |
500（下記参照） |
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横構造 |
ほぼ自由 |
表面祖度 |
Ra < 50nm |
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対応素材 |
PMMA，POM，PSU，PEEK，PVDF，PC，LCP，PA，PE，Ni，Cu，Au，NiFe，NiP，PZT，PMNT，Al2O3，ZrO2 |
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LIGA構造体例
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回折格子のレジスト 段差0.25µm，高さ125µm アスペクト比500 |
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任意の横方向形状例 （ノズル） |
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高さ400µm，平行側壁 |
