ASICON Tokyo Ltd. 【X線レンズ】 FZK/IMT

IMT（カールスルーエ研究センター・マイクロストラクチャ技術研究所）

硬X線集光レンズ（ポリマー製） 製品解説

資料・リンク

X線レンズ

硬X線を2次元に集光するポリマー（SU-8）製のレンズを仕様最適化の後，提供いたします。

製造担当：カールスルーエ研究センター・IMT

利用設備：シンクロトロン放射線施設ANKA，ディープX線リソグラフィ法

納入実績：国内ではSPring-8等

・X線の縦方向と横方向を，それぞれ集光するタイプ（VVHH型レンズ=通常型）

・異なる仕様のVVHH型レンズアレイを16列提供

・45度傾斜の固定用ホルダが付属

レンズシステム2DLS仕様
外形	60 mm x 20 mm x 600 µm	エネルギー領域	5 - 100 keV（選択可能）
ウェハサイズ	65 mm x 32 mm	作動距離	1- 1,000 mm
レンズ材質	SU-8（エポキシ樹脂）	レンズ本数	計17本（VVHH 16 + VHVH 1）
ウェハ材質	Si	SU-8は，高感度，高い透明度，優れた化学安定性，機械的安定性が特徴である。
放射線照射	10 MJ/cm³以上	SU-8は，高感度，高い透明度，優れた化学安定性，機械的安定性が特徴である。

上記の番号は，Siウェハ上の両外側から配列されるレンズ番号です。1つのウェハ上に，VVHH型（上下対称に同じアレイが8組）と，VHVH型（1本）で，計17本のアレイが標準装備されています。

VVHH型レンズアレイは，初期状態では8種類 x 2本ずつの組合せですが，最適化後に仕様を変えられるので，最終的には16種類のカスタマイズド・レンズアレイになります。

リンク・資料

■X線レンズ資料（2.2008, PDF）

■X線レンズ質問票（11.2007, PDF）